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光伏廢水主要來源于多晶硅廢水、有機硅廢水、硅片清洗廢水、切磨拋廢水和砂漿回收廢水，其化學成分主要包括聚乙二醇、COD、硅酸鹽和氨氮等。目前光伏廢水的處理方法主要包括膜過濾技術、生物處理、蒸發脫鹽技術和化學處理等?；瘜W處理是指通過添加化學藥劑來處理太陽能光伏廢水中的有害物質，如氧化劑、沉淀劑等。這些藥劑可以將太陽能光伏廢水中的懸浮物和有機物進行氧化、沉淀，有效地改善水質，使其符合標準。雙氧水作為一種常見的氧化劑，在芬頓反應、臭氧光催化氧和光芬頓等高級氧化技術中被應用廣泛。其中，臭氧光催化高級氧化反應主要利用UV光催化系統，激發 H2O2 及 O3 產生具有氧化性的羥基自由基，加速難降解有機物質氧化，發生一系列斷鏈、開環等多種反應，進一步提高COD的去除效率。光芬頓反應則是在傳統芬頓反應的基礎上引入UV，形成光助芬頓反應，加速芬頓反應中Fe3+和Fe2+的價態循環，同時達到紫外光和Fe2+協同催化分解H2O2的目的，進而加速光伏廢水中COD的去除。
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| 預處理 | 去除單一目標分子（脫氯） | 去除毒性 提高可生化性 降解目標污染物 | 醫藥農藥行業去除毒性； 降解有機磷、有機氮 提高B/C | 提升B/C |
| 深度處理 | TOC降解 | 石化行業，回用水處理 | 工業園區深度處理去除COD | 提標改造出水保障 深度處理去除COD |
| 無排放 | 預防RO膜污堵 | 降解TOC/COD | 雙膜工藝前端深度去除COD | 原水或濃鹽水TOC/COD去除 |
| 凈水及超純水 | 電子行業超純水TOC降解 | 飲用水，去除微污染物 | / | 去除微污染物，降低消毒副產物 |
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